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2023-05-15 发布于四川
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真空镀膜系统.pdf

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本发明提供一种真空镀膜系统，包括：依次连接的镀膜装置、传递装置和至少一个悬挂操作装置，镀膜装置设置镀膜腔体、旋转工件盘、工件盘驱动机构、离子源、工件盘支撑法兰和蒸发源；悬挂操作装置包括悬挂腔体、设置在悬挂腔体内部的笼架、笼架驱动机构；传递装置包括传递腔体、机械手和换向导轨；传递装置用于连接镀膜装置和悬挂操作装置；进行交换操作时镀膜装置、传递装置和悬挂操作装置均处于真空状态。本发明安装方便、调试方便、故障率低、机械手控制灵活且镀膜效率高。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114717532 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210300762.8 (22)申请日 2022.03.24 (71)申请人布勒莱宝光学设备（北京）有限公司地