真空镀膜系统.pdfVIP

  1. 1、本文档共23页,其中可免费阅读22页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
  2. 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
  3. 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
  4. 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  5. 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  6. 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  7. 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  8. 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种真空镀膜系统,包括:依次连接的镀膜装置、传递装置和至少一个悬挂操作装置,镀膜装置设置镀膜腔体、旋转工件盘、工件盘驱动机构、离子源、工件盘支撑法兰和蒸发源;悬挂操作装置包括悬挂腔体、设置在悬挂腔体内部的笼架、笼架驱动机构;传递装置包括传递腔体、机械手和换向导轨;传递装置用于连接镀膜装置和悬挂操作装置;进行交换操作时镀膜装置、传递装置和悬挂操作装置均处于真空状态。本发明安装方便、调试方便、故障率低、机械手控制灵活且镀膜效率高。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114717532 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210300762.8 (22)申请日 2022.03.24 (71)申请人 布勒莱宝光学设备(北京)有限公司 地

您可能关注的文档

文档评论(0)

知识产权出版社 + 关注
官方认证
服务提供商

提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!

认证主体北京中献电子技术开发有限公司
IP属地四川
统一社会信用代码/组织机构代码
91110108102011667U

1亿VIP精品文档

相关文档