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在所描述的CMOSIC的示例中,具有端子的超声换能器(1200)形成在IC的衬底(1230)上。具有超声信号端子的CMOS电路系统(1236)形成在衬底上。至少一个金属互连层(1238)覆盖超声换能器和CMOS电路系统。至少一个金属互连层将CMOS电路系统超声信号端子连接到超声换能器的端子。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114728782 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202080081611.7 (74)专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限
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