激光结晶化装置.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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激光结晶化装置.pdf

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本公开涉及一种激光结晶化装置，根据实施例的激光结晶化装置可以包括：光源部；以及路径转换部，将从所述光源部入射的激光束转换成具有与第一方向平行的长轴和与第二方向平行的短轴的线形光束，所述路径转换部包括：入射窗，与所述第二方向平行地延伸；出射窗，与所述第一方向平行地延伸；第一反射部，位于所述入射窗的侧面；第二反射部，位于所述出射窗的侧面。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114724938 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202111670008.5 (22)申请日 2021.12.31 (30)优先权数据 10-2021-0000898