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本发明提供了一种滤光片及晶圆划裂片用环保型基材及其制备方法,涉及半导体的技术领域,本发明的环保型基材聚烯烃薄膜包括层叠设置的第一表层和第二表层;其中,第一表层主要由以下组分制备而成:共聚聚丙烯、聚丙烯基弹性体以及爽滑剂,第二表层主要由以下组分制备而成:乙烯‑醋酸乙烯共聚物和高压低密度聚乙烯。本发明解决了晶圆裂片用PVC保护膜的质量稳定性欠佳及其在回收处理过程中污染环境的技术问题,达到了晶圆裂片保护用膜不仅能够达到PVC保护膜相同的性能,而且在回收处理过程中不会污染环境的技术效果。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114701228 A
(43)申请公布日 2022.07.05
(21)申请号 202210382441.7 C08L 23/14 (2006.01)
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