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本公开提供一种用于测量氮化物基被测装置(DUT)的动态导通电阻的设备,所述氮化物基被测装置包括连接到控制器的控制端子,所述控制器被配置成生成用以接通和切断所述DUT的控制信号。所述设备包括第一箝位模块、第二箝位模块和驱动模块。所述驱动模块被配置成感测所述DUT的状态改变,且基于所述DUT的状态改变生成用以接通和切断所述第一箝位模块的控制信号,使得当所述DUT处于接通状态时,跨所述第一和第二输出节点的输出电压经箝位以指示所述DUT的漏极‑源极电压。所提供的设备可解决GaN装置的动态导通电阻的测量过
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114729958 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202280001225.1 G01R 31/26 (2014.01)
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