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本申请提供了一种芯片、氮化镓功率器件和电源驱动电路,其中,该芯片包括:衬底、设置于衬底上的多个氮化镓组件,多个氮化镓组件阵列排列;氮化镓组件包括分别设置于衬底上的有源区和非有源区,非有源区包围有源区的侧表面,有源区包括氮化镓层和氮化铝镓层形成的异质结,非有源区包括间隔设置的多个凹槽,该多个凹槽均贯穿非有源区并显露衬底,多个凹槽用于与每一个氮化镓组件相邻的氮化镓组件相隔离。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114730803 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202080076794.3 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限
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