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提供一种半导体元件的特性预测系统。半导体元件的特性预测系统包括存储部、输入部、处理部及运算部,处理部具有从容纳在存储部中的第一数据生成学习用数据组的功能、根据从输入部供应的第二数据生成预测用数据的功能、将定性数据(材料的名称或组成式)转换为定量数据(元素的特性及组成)的功能以及对第一数据及第二数据进行抽出或去除的功能,第一数据包含第一半导体元件至第m(m为2以上的整数)半导体元件的工序一览表以及第一半导体元件至第m半导体元件的特性,第二数据包含第m+1半导体元件的工序一览表,运算部具有进行监督学
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114730698 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202080079074.2 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所
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