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本揭露在各实施例中提供了一种硬化的阻剂层,其可降低阻剂层中的阻剂残渣缺陷。在一实施方式中,提供一种微影方法。此方法包含形成阻剂层于基材的上方,对阻剂层进行曝光制程,对阻剂层进行显影制程以形成具有多个阻剂段的图案化阻剂层,将图案化阻剂层暴露于真空紫外线(VUV)辐射,以及对阻剂图案进行去残渣制程。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114724929 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202110592417.1
(22)申请日 2021.05.28
(30)优先权数据
17/199,123 2021
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