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本发明涉及PECVD石墨舟存储及下料领域。一种PECVD石墨舟存储与下料方法,石墨舟的冷却时间从石墨舟反应完置于PECVD石墨舟的搬运区域开始计时,冷却时间Tx代表X编号存储位置上对应石墨舟的冷却时间;将上下料存储区域、进出炉管存储区域位置状态依据有无石墨舟存放设置为1和0,1有,0无;根据PECVD石墨舟的搬运区域的存储区域的位置状态和石墨舟的冷却时间对存储区域上石墨舟进行移动及下料。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114717537 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210286205.5
(22)申请日 2022.03.23
(71)申请人 山西潞安太阳能科技有限责任公司
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