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本发明提供了一种高压多相流固相沉积模拟装置。高压多相流固相沉积模拟装置包括:储罐,储罐具有进口和出口;气体介质注入组件,气体介质注入组件与储罐连通,用于以预设压力向储罐内注入气体介质;液体介质注入组件,液体介质注入组件与储罐连通,用于向储罐内注入液体介质;多相流动管路,多相流动管路分别与储罐的进口和出口连通,以使气体介质和液体介质在多相流动管路和储罐内循环混合流动并进行固相沉积,多相流动管路与水平面之间的角度可调;电磁安全阀,电磁安全阀设置在储罐上;控制器,控制器与电磁安全阀电连接,用于控制电磁
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114718557 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202110809546.1 E21B 47/06 (2012.01)
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