高压多相流固相沉积模拟装置.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.48万字
约 11页
2023-05-15 发布于北京
举报
版权申诉

高压多相流固相沉积模拟装置.pdf

1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种高压多相流固相沉积模拟装置。高压多相流固相沉积模拟装置包括：储罐，储罐具有进口和出口；气体介质注入组件，气体介质注入组件与储罐连通，用于以预设压力向储罐内注入气体介质；液体介质注入组件，液体介质注入组件与储罐连通，用于向储罐内注入液体介质；多相流动管路，多相流动管路分别与储罐的进口和出口连通，以使气体介质和液体介质在多相流动管路和储罐内循环混合流动并进行固相沉积，多相流动管路与水平面之间的角度可调；电磁安全阀，电磁安全阀设置在储罐上；控制器，控制器与电磁安全阀电连接，用于控制电磁

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114718557 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202110809546.1 E21B 47/06 (2012.01)