一种反应室及反应装置.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种反应室及反应装置.pdf

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本发明提供了一种反应室及反应装置，包括中空发热件、旋转台、防护板组件及分隔件，所述旋转台可转动的设于所述中空发热件的内腔中，所述旋转台用于承载晶圆，所述防护板组件设于所述旋转台的两侧，所述分隔件架设于所述防护板组件上，所述分隔件用于与所述防护板组件配合，在所述内腔中分隔出反应腔，所述反应腔将所述旋转台包围，且所述内腔的表面不暴露于所述反应腔中。通过反应腔将托盘包围，使其不暴露于结构复杂、成本高昂的中空发热件内表面。反应气体从反应腔中流过沉积，不会在中空发热件表面产生沉积。仅需更换结构简单、成本较

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114717536 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202111361303.2 (51)Int.Cl.