一种镀膜腔清洁机构.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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一种镀膜腔清洁机构.pdf

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本发明提出一种镀膜腔清洁机构，设置于矩形的镀膜腔内，包括：设置于镀膜腔底部的干泵、设置于镀膜腔四个内壁上的引流单元和分别设置于镀膜腔四个角落且与干泵连接的集气罩，引流单元为引流板，引流板包括呈L型的垂直板和水平板。本发明不仅提高了NF3的使用率，而且提高了清洁效果，有助于提高产品质量；整体结构简单、设计科学且采用快装方式并将易损件设计为可更换结构，既节约装配时间，又节约使用成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114737167 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210166507.9 (22)申请日 2022.02.23 (71)申请人明德润和机械制造（天津）有限公司地