用于减轻平面外力和挠曲振动的相位变化的基于压电的微致动器布置.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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用于减轻平面外力和挠曲振动的相位变化的基于压电的微致动器布置.pdf

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一种压电(PZT)设备诸如硬盘驱动器微致动器的方法包括一层或多层极化压电材料，其中顶表面和底表面与跟功率源耦接以驱动有源PZT层的相应电极层耦接。电极层具有不同的厚度，其中特定厚度可以被配置为减轻与对应致动器臂和记录介质之间的z高度的操作变化相关联的平面外运动或弯曲的变化，并且同样，减轻挠曲振动的相位变化。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114730572 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080081245.5 (74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理