加料管、加料方法及晶体生长设备.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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加料管、加料方法及晶体生长设备.pdf

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本发明公开了一种加料管、加料方法及晶体生长设备，加料管用于晶体生长设备，且包括的管体和分隔组件，管体限定出加料腔，加料腔包括多个沿管体的轴向依次布置的盛放腔，相邻两个盛放腔通过连通口连通，多个分隔组件沿管体的轴向间隔设置，每个分隔组件设于连通口处，且分隔组件具有遮挡状态和避让状态，在遮挡状态下，分隔组件遮挡连通口以使相邻两个盛放腔隔断，在避让状态下，分隔组件避让连通口以使相邻两个盛放腔连通。根据本发明的加料管，可以实现物料的多次添加，以有效减少单次投放量，从而减小物料投放对熔汤的冲击，避免熔汤飞

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114717646 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210344856.5 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人徐州鑫晶半导体科技有限公司地址