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在本发明的处理条件确定方法中,从多个处理程式信息中确定出一边移动处理液的喷出位置一边处理基板W时能够使用的处理程式信息。处理条件确定方法包括工序S31、工序S32以及工序S33。在工序S31中,基于包括基板W的厚度的测定值的测定厚度信息,针对多个处理程式信息中的每一个处理程式信息,计算出包括基板W的处理后的厚度的预测值的预测厚度信息。在工序S32中,按照规定评价方法来评价针对多个处理程式信息而分别计算出的多个预测厚度信息,并从多个预测厚度信息中选择预测厚度信息。在工序S33中,确定出与所选择的预
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114746987 A
(43)申请公布日 2022.07.12
(21)申请号 202080084200.3 (74)专利代理机构 成都超凡明远知识产权代理
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