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本发明公开了一种半导体结构的制造方法,至少包括以下步骤:提供一衬底,其中所述衬底包括逻辑区和像素区;形成垫氧化层和垫氮化层于所述衬底上;形成保护层于所述垫氮化层上;蚀刻所述衬底,以形成第一类型沟槽于所述逻辑区和所述像素区上;再次蚀刻所述逻辑区上的所述第一类型沟槽,以形成第二类型沟槽;移除所述保护层;以及回拉蚀刻所述第一类型沟槽和所述第二类型沟槽两侧的所述垫氧化层和所述垫氮化层,以形成台阶于所述第一类型沟槽和所述第二类型沟槽两侧。本发明提供的半导体结构的制造方法,可提高半导体结构的质量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114725145 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210433074.9
(22)申请日 2022.04.24
(71)申请人 合肥晶合集成电路股份有限公司
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