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在一实施例中,提供了一种包括电子枪、聚焦系统和壳体的系统。电子枪可以包括冷阴极电子源和提取电极。聚焦系统可以被配置成将从电子枪提取的电子束聚焦到焦点区域。壳体可以包括电子枪并且在电子束的方向上沿着壳体轴延伸。冷阴极源被配置成在高于电子束的焦点区域处的第二操作压强的第一操作压强下发射电子。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114787956 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202080087292.0 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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