用于CVD反应器的进气装置.pdfVIP

下载本文档

6
0
约1.99万字
约 22页
2023-05-16 发布于北京
举报
版权申诉

用于CVD反应器的进气装置.pdf

1、本文档共22页，其中可免费阅读21页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种具有多个相叠地布置的进气区域(E1至E5)的气体分配装置，所述进气区域能够通过接通、关闭或者切换一个或多个输入管路(18)被调节，处理气体能够通过所述输入管路馈送到层状地相叠地布置的排气区(Z1至Z12)的气体分配容积(17)中，其中，通过每个进气区域(E1至E5)分别仅有一种相同的处理气体能够进入处理室(7)中。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114787416 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202080084081.1 (74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所