高精度金属薄膜直流电导率测试方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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高精度金属薄膜直流电导率测试方法.pdf

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一种高精度金属薄膜直流电导率测试方法，包括：将金属膜基材料置于预先设定的测试环境中；沿所述金属膜基材料的厚度方向朝其表面的发射太赫兹波；根据金属膜基材料的类型和厚度，调节太赫兹波的参数；接收所述太赫兹波穿过金属膜基材料有膜区域和无膜区域后的首波参考和第一回波的信号；根据无膜区域的首波参考和第一回波的信号的傅里叶变换结果获得金属膜基材料的基板的精确复折射率；接收所述太赫兹波穿过所述金属膜基材料有膜区域的首波实验信号；根据所述首波参考信号和首波实验信号获得金属膜基材料的膜基和纯基板的实验透射系数比值

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114755247 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202110020905.5 (22)申请日 2021.01.08 (71)申请人天津大学地址 300354 天津