阀控制装置和方法、半导体加工设备.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.93万字
约 28页
2023-05-16 发布于四川
举报
版权申诉

阀控制装置和方法、半导体加工设备.pdf

1、本文档共28页，其中可免费阅读27页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供一种阀控制装置和方法、半导体加工设备，该装置用于控制半导体工艺设备中的先导阀驱动开关阀开启或关闭，阀控制装置包括第一检测模块和控制模块，其中，第一检测模块用于检测每一采集周期中开关阀的开启动作和关闭动作，并将其转换为电信号发送至控制模块；控制模块用于在采集周期按预设的开关阀开启的保持时间和循环次数，向先导阀发送开启信号；以及，根据第一检测模块发送的电信号，判断开关阀的状态是否正常。本发明提供的阀控制装置和方法、半导体加工设备，可以对开关阀的状态进行监控，从而可以在开关阀出现故障时及时获

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114738545 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210494298.0 (22)申请日 2022.05.07 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址