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一种处理气体污染物的设备，包括一进气部、一第一处理单元、一第二处理单元以及一非机械式引流装置，该进气部，包括一进气腔室及至少一导引管路，该导引管路连通至该进气腔室并将一来自半导体制程的流出物导引至该进气腔室，该第一处理单元耦接于该进气部下方并用以减弱该流出物，该非机械式引流装置耦接于该第一处理单元，该引流装置用于导引该流出物朝一开口移动，该第二处理单元经由该开口耦接至该引流装置，并接收从该第一处理单元来的该流出物并进一步地减弱该流出物。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114786793 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202180007067.6 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理
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