一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法.pdf

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本发明提供一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法，双工位移载装置，包括：轨道；安装于轨道上的两组存取工位；其中，存取工位用于对晶圆进行存取，轨道对存取工位进行限位导向，使得存取工位沿着轨道移动。通过在轨道上安装两组存取工位，通过两组存取工位对晶圆进行存取工作，保证晶圆的存取速度，存取工位能够沿着轨道运动，便于对不同位置的晶圆进行存取，保证晶圆的流转效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114772120 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202210324603.1 (22)申请日 2022.03.30 (71)申请人弥费实业（上海）有限公司地址 2