蚀刻装置以及利用其的蚀刻方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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蚀刻装置以及利用其的蚀刻方法.pdf

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提供一种蚀刻装置以及利用其的蚀刻方法。蚀刻装置可以包括：喷嘴部，包括至少一个喷嘴，喷嘴包括：蚀刻溶液喷射口，向蚀刻对象物提供蚀刻溶液；蚀刻溶液回收口，回收蚀刻溶液；以及密封部，包围蚀刻溶液喷射口和蚀刻溶液回收口，并且防止蚀刻溶液的泄漏。蚀刻装置可以位于蚀刻对象物的下部来对蚀刻对象物的底面进行蚀刻。由此，对蚀刻对象物进行蚀刻的蚀刻溶液可以仅对蚀刻区域进行蚀刻。因此，可以提高蚀刻的准确度，并且可以提高蚀刻对象物的品质的完成度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114758965 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202111209852.8 (22)申请日 2021.10.18 (30)优先权数据 10-2021-0003393