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本发明提供了一种高压元件、高压控制元件及其制造方法。高压元件包括:半导体层、阱区、浅沟槽隔绝区、漂移氧化区、本体区、栅极、源极与漏极,其中该漂移氧化区位于一漂移区上,其中浅沟槽隔绝区位于漂移氧化区下,且部分漂移氧化区位于部分浅沟槽隔绝区的正上方并连接浅沟槽隔绝区,其中浅沟槽隔绝区介于漏极与本体区之间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114759092 A
(43)申请公布日 2022.07.15
(21)申请号 202111508737.0
(22)申请日 2021.12.10
(30)优先权数据
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