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2023-05-16 发布于北京
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本发明涉及检测装置技术领域，公开了一种检测装置。检测装置包括基座、减振机构、垂向机构和制动机构。基座设有载台；减振机构设置于基座底部；垂向机构连接于基座并位于载台的正上方，垂向机构包括驱动件、导轨和连接件，连接件与竖直设置的导轨滑动连接，驱动件驱动连接件沿导轨滑动，连接件上连接有检测仪器；制动机构包括制动器和连接导轨，制动器连接于基座，连接导轨连接于连接件，连接导轨竖直设置，连接导轨穿设制动器，且制动器能够制动连接导轨。本发明实现提高检测装置的竖直方向的刚度，提高垂向机构上连接板的定位精度及位置

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114755182 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210357805.6 (22)申请日 2022.04.06 (71)申请人合肥御微半导体技术有限公司地址