水冷套装置和单晶炉.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.35万字
约 12页
2023-05-16 发布于北京
举报
版权申诉

水冷套装置和单晶炉.pdf

1、本文档共12页，其中可免费阅读11页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种水冷套装置和单晶炉，水冷套装置包括筒状本体，筒状本体的底部设置与筒状本体内部连通的调节套筒，调节套筒包括与筒状本体连接的第一端，和与第一端相对的第二端，从第一端到第二端，调节套筒在筒状本体的径向方向上截面的面积逐渐减小。通过调节套筒的设置，阻挡筒状本体下方热量传输到水冷套内部空间，有效阻挡热量的自下而上的散失。且调节套筒在筒状本体的径向方向上截面的面积逐渐减小，当惰性气体流从拉晶炉上方吹撒流经调节套筒时，流速变大，保证了惰性气体流与晶棒的充分接触，提高了晶棒的冷却速率，很好地调节晶

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114737247 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210544317.6 (22)申请日 2022.05.18 (71)申请人西安奕斯伟材料科技有限公司地址