一种太阳能电池的无氧推进低压扩散工艺.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种太阳能电池的无氧推进低压扩散工艺.pdf

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本发明涉及一种太阳能电池的无氧推进低压扩散工艺，包括如下步骤：(1)在管式低压扩散氧化炉内通氮进舟，检查气密性后，于低于120mbar的低压下对制绒后的硅片进行前氧化处理；(2)维持所述低压下，然后升温至810‑830℃通源进行表面沉积，对表面沉积后的硅片进行835‑845℃下的无氧推进；重复进行升温通源与无氧推进的操作至少1次；(3)降温后进行后氧化处理，然后通氮出舟制得太阳能电池片。本发明方法能够降低太阳能电池制备工艺过程中磷源消耗成本，提升电池效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114759118 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210367391.5 (22)申请日 2022.04.08 (71)申请人江苏润阳悦达光伏科技有限公司地址