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本发明提供辅助装置,该辅助装置能够将端面修正治具自动地搬入到切削装置。与切削装置连结的辅助装置具有:端面修正治具收纳部,其收纳用于修整安装凸缘的外周端面的端面修正治具,该安装凸缘形成于该切削单元的主轴的前端而对切削刀具的背部进行支承;以及保持构件,其对收纳于端面修正治具收纳部的端面修正治具进行保持,该辅助装置将保持构件所保持的端面修正治具搬入到与卡盘工作台相邻地配设的副工作台。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114762994 A
(43)申请公布日 2022.07.19
(21)申请号 202210004325.1 H01L 21/677 (2006.01)
(22)申请日 2022.01
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