一种碳化硅纤维的合成方法及应用.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种碳化硅纤维的合成方法及应用.pdf

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本发明提出了一种碳化硅纤维的合成方法及应用，所述合成方法至少包括以下步骤：将硅源放置于坩埚内；将石墨板放置于所述坩埚内，且所述石墨板底部与所述硅源有预设距离；将碳纤维放置于所述石墨板表面；将所述坩埚放入炉腔内，进行升温加热；以及将所述坩埚降温，获取所述碳化硅纤维。本发明提供的一种碳化硅纤维的合成方法及应用，能有效提高碳化硅晶体的质量。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114735703 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210458294.7 (22)申请日 2022.04.28 (71)申请人中电化合物半导体有限公司地址 3