一种EUV超高聚光效率的反光碗组合装置.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种EUV超高聚光效率的反光碗组合装置.pdf

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一种EUV超高聚光效率的反光碗组合装置，包含底座(1)，所述的底座(1)上设置有主反光碗(6)、侧反光环碗(7)和下反光碗(8)；其特征在于：所述下反光碗(8)由支撑机构(3)在侧反光环碗(7)上固定支撑，其下反光碗(8)，将等离子体发射的EUV(11)向下散射的EUV光反射到侧反光环碗(7)上再反射和主反光碗(6)的反射EUV光叠加会聚再同一个EUV中间焦点(4)上。本发明通过下反光碗(8)和侧反光环碗(7)结构的聚焦提高了EUV中间焦点(4)光功率30‑45%，大大节约了电能，使芯片制造更环

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114740693 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210470056.8 (22)申请日 2022.04.30 (71)申请人刚川机器人（东阳）有限公司地址