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本发明提供一种压力传感器,包括顶盖组件、上座和动膜,上座的顶部及底部均形成有开口,顶盖组件密封上座的顶部开口,动膜密封上座的底部开口,顶盖组件、上座和动膜三者形成压力参考腔,压力传感器用于基于动膜的状态检测动膜背离顶盖组件一侧的气体压力,顶盖组件上形成有至少一个导气通道,导气通道用于使压力参考腔与外部连通,顶盖组件包括至少一个封堵件,封堵件用于密封导气通道,其中,封堵件是在被加热至高于预设熔融温度时至少部分熔化并在冷却后凝固而密封导气通道的。采用本发明提供的压力传感器的制作效率高且结构稳固、压力
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114754916 A
(43)申请公布日 2022.07.15
(21)申请号 202210510701.4
(22)申请日 2022.05.11
(71)申请人 北京七星华创流量计有限公司
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