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在陶瓷基板(5)搭载半导体元件(19)。将搭载了半导体元件(19)的陶瓷基板(5)收容在壳体(13)内。使硅烷偶联剂的溶液流入壳体(13)内。除去壳体(13)内的溶液。对在使溶液流入壳体(13)内的工序中附着于半导体元件(19)等的溶液施加处理,从而在半导体元件(19)等的表面形成底涂剂层(35)。通过在壳体(13)内填充密封材料(37),对形成有底涂剂层(35)的半导体元件(19)等进行密封。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114762093 A
(43)申请公布日 2022.07.15
(21)申请号 202080083528.3 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所
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