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本发明提供了一种基于硅基光敏薄膜工艺的双重折叠基片集成波导滤波巴伦，包括：输入输出结构、耦合结构、三角巴伦谐振腔和矩形多模谐振腔；所述矩形多模谐振腔成对设置，所述三角巴伦谐振腔位于一对矩形多模谐振腔之间，且通过耦合结构分别连接两个矩形多模谐振腔，所述输入输出结构包括一个输入部分和两个输出部分，所述输入部分连接三角巴伦谐振腔，两个所述输出部分分别与两个矩形多模谐振腔连接。本发明为平面型多层结构：输入输出采用平面结构，谐振腔采用折叠基片集成波导结构，实现了小型化，三维集成的优势。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114784473 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210259834.9
(22)申请日 2022.03.16
(71)申请人 上海交通大学
地址 200240
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