一种环保型晶圆封装用电镀液及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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一种环保型晶圆封装用电镀液及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种环保型晶圆封装用电镀液及其制备方法，涉及电镀技术领域。本发明先利用4‑二甲基氨基‑N′‑羟基‑苯甲脒、1，3‑二氯‑2‑丙基氯甲基醚和3‑氨基‑4‑(2‑甲基丙胺基)喹啉，形成多季铵盐类自制缓蚀剂，并依靠导电聚合物为囊壁，形成微胶囊，当晶圆镀层表面发生局部损坏时，通过自制缓蚀剂的释放，恢复镀层表面的保护作用能，提高镀层的耐腐蚀作用；接着，以金属盐、银纳米线和微胶囊复配形成电镀液，配合间歇超声‑脉冲电镀，将微胶囊嵌入铜锡合金，同时，电镀铜锡合金有效连接银纳米线，填补镀层缺陷，有效释

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114775002 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202210331540.2 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人江苏矽智半导体科技有限公司地址