具有双平面外和平面内致动和位移的显微机械加工超声换能器.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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具有双平面外和平面内致动和位移的显微机械加工超声换能器.pdf

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本文提供了一种电容式换能器(200)。该电容式换能器(200)包括：板(202)，该板包括突出的中心质量块(203)；和基底(204)，该基底具有中心凹入部(205)，该中心凹入部被配置为接纳中心质量块(203)。该电容式换能器(200)还包括耦接到中心质量块(203)的非水平边缘表面的第一电极(210)和耦接到中心凹入部(205)的非水平边缘表面的第二电极(211)。该电容式换能器(200)还包括耦接到中心质量块(203)的水平边缘表面的第三电极(216)和耦接到中心凹入部(205)的水平边缘

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114762610 A (43)申请公布日 2022.07.19 (21)申请号 202111675690.7 A61N 7/00 (2006.01)