基于光学成像传感的纳米位移测量装置及方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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基于光学成像传感的纳米位移测量装置及方法.pdf

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一种基于光学成像传感的纳米位移测量方法，其装置包括条纹光学元件、同轴照明光源、分光光学元件、光学放大成像单元和光学图形/图像传感器。测量方法包括以下步骤1)将条纹光学元件固定于待测物体上，条纹光学元件上的刻划有微米量级条纹；2)条纹图像光学放大100～1000倍，然后成像到线阵或面阵传感器上；3)传感器识别条纹光场分布的相对位置变化量，从而测得待测物体位移量。其位移量分辨率不再受限于光学衍射极限，能够实现纳米量级分辨率的位移量检测。其中微米量级的条纹制作简便，成本低，测量范围几乎不受限制。本发明

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114754681 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210216638.3 (22)申请日 2022.03.07 (71)申请人上海微钠光电科技有限公司地址 2