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本发明提供一种能够安全地驱动驱动对象的流体致动器。以空气为工作流体的气动致动器具备:X轴压力传感器,测定沿X方向驱动驱动对象的沿一个驱动轴的空气的压力(PX+、PX‑);Y轴压力传感器,测定沿Y方向驱动驱动对象的沿两个驱动轴的空气的压力(PY1+、PY1‑、PY2+、PY2‑);及加速度检测部,根据所测定的空气的压力(PX+、PX‑、PY1+、PY1‑、PY2+、PY2‑)来检测出在驱动对象(W)上产生的平移加速度及旋转加速度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114763803 A
(43)申请公布日 2022.07.19
(21)申请号 202210022379.0
(22)申请日 2022.01.10
(30)优先权数据
2021-003200 202
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