板状的氮化硅质烧结体及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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板状的氮化硅质烧结体及其制造方法.pdf

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本发明提供得到兼具高的热导率和优异的机械特性(强度和断裂韧性)的板状的氮化硅质烧结体的方法。制备在氮化硅原料中添加有烧结助剂的起始组合物，通过片成形工艺由起始组合物制作生片，将生片在含氮气体压力为0.15MPa以上且3MPa以下的加压气氛下、在最高保持温度为1790℃以上且1910℃以下的温度范围内保持而进行烧结，由此制造碱土金属含量与稀土金属含量的比率及氧含量高度受控的板状的氮化硅质烧结体，其中，所述氮化硅原料中配混有β百分率为0％以上且10％以下并且具有特定的氧含量、比表面积及平均粒径的第一

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114787105 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202080085992.6 (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事