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本发明公开了一种大尺寸超薄硅片的切割方法，所用装置包括相互配合的导轮和切割钢线，具体步骤包括：将一副导轮分三段开槽，即将其长度均分为三份，从进线到出线方向依次分为L1、L2、L3三个区域；L1区域槽距根据目标片厚以及切割刚线的线径来决定；L2区域槽距等于L1区域槽距减1um，L3区域槽距等于L2区域槽距再减1um；理论片数n为棒长x与导轮槽距y之比，即L1区域的槽距为y，L2区域的槽距为y‑1，L3区域的槽距为y‑2，调整后的实际片数n1
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114734543 A
(43)申请公布日 2022.07.12
(21)申请号 202210465088.9
(22)申请日 2022.04.29
(71)申请人 江苏美科太阳能科技股份有限公司
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