一种耦合光腔衰荡高反射率测量装置.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种耦合光腔衰荡高反射率测量装置.pdf

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本发明公开一种耦合光腔衰荡高反射率测量装置，包括激光光源(1)、指示光源(2)、分光反射镜(3)、平面反射镜(4)、耦合镜(5)、平面腔镜(6)、第一高反腔镜(7)、第一聚焦透镜(8)、光电探测器(9)、第二高反腔镜(10)、第二聚焦透镜(11)、CCD相机(12)、计算机(13)和待测样片(14)；其中，所述平面腔镜(6)、第一高反腔镜(7)和第二高反腔镜(10)构成衰荡腔，所述耦合镜(5)反馈光与衰荡腔内光场相干增强，所述光电探测器(9)记录激光光源(1)经衰荡腔后的光腔输出信号，所述CCD

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114739643 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210499673.0 (22)申请日 2022.05.09 (71)申请人中国科学院光电技术研究所地址 6