一种抑制正交扰动的二维压电驱动平台.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种抑制正交扰动的二维压电驱动平台.pdf

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本发明提供了一种抑制正交扰动的二维压电驱动平台，包括基板以及工作平台，以工作平台中心为原点X‑Y正交平面内设有四组柔性隔离结构，柔性隔离结构通过导向机构与工作平台相连接，一组正交柔性隔离结构的远离工作平台一侧分别设置有压电驱动单元，压电驱动单元包括U型槽、两个压电叠堆以及中心块，U型槽开设于基板上，并与柔性隔离结构两端连接，中心块与柔性隔离结构外侧中部连接，压电叠堆的两端均设有球头，压电叠堆的两端分别与U型槽的内侧壁和中心块的侧面相抵触。本发明通过柔性隔离结构增强了压电驱动单元的抗扰动能力，避免

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114744910 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210505636.6 (22)申请日 2022.05.10 (71)申请人广州大学地址 510006 广