一种柔性热敏传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种柔性热敏传感器及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种柔性热敏传感器及其制备方法，所述柔性热敏传感器包括柔性衬底、位于衬底上的二硒化钯(PdSe2)热敏薄膜、金属电极及聚合物封装钝化膜。所述制备方法具体步骤为：在柔性衬底上直接生长或者转移一层二硒化钯薄膜，二硒化钯通过等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)硒化制备而成，在二硒化钯上镀金属电极，使用聚合物膜封装。本发明的优点是低温兼容柔性基底，工艺简洁，易于集成，便于大规模生产高灵敏性的柔性热敏传感器。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114777944 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202210053553.8 (22)申请日 2022.01.18 (71)申请人电子科技大学地址 610700