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提供能制造以更高等级使表面平坦化的层叠体的层叠装置。层叠装置具备真空层叠装置,其形成具有追随基材的凹凸面的凹凸面的第1暂时层叠体;第1平面加压装置,其按压第1暂时层叠体形成第2暂时层叠体;第2平面加压装置,其以与第1平面加压装置不同的条件按压第2暂时层叠体,第1平面加压装置具有相对的一对加压块,其至少一者具有加热板、板状体和配置于它们之间的缓冲件,第2平面加压装置具有相对的一对加压块和伺服电机,该一对加压块中的至少一者具有加热板和板状体,在加热板与板状体之间不具有缓冲件或具有缓冲效果比第1平面加
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114770917 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202110855945.1
(22)申请日 2021.07.28
(30)优先权数据
2021-009109 202
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