一种晶体硅生长炉的保温硬毡及其制作方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种晶体硅生长炉的保温硬毡及其制作方法.pdf

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本发明涉及单晶硅生长炉用保温毡制备技术领域，尤其涉及一种晶体硅生长炉的保温硬毡及其制作方法。一种晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法，包括以下步骤：步骤S1、将碳纤维剪切成碳纤维丝束，烘干后冷却，将碳纤维丝束吹散至呈丝状；步骤S2、将碳纤维丝束编织为双向正交的碳纤维毡；步骤S3、将双向正交的碳纤维毡制作为三向正交的碳纤维毡。所述晶体硅生长炉的保温硬毡的制作方法，能够制备出低密度高保温性能的晶体硅生长炉的保温硬毡，同时达到缩短生产周期、减少工业生产中的危害因素的目的，解决了晶体硅生长炉的保温硬毡生产过

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114752993 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210616670.0 (22)申请日 2022.06.01 (71)申请人佛山市石金科技有限公司地址 52