化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法.pdf

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本发明涉及一种化合物，其由下述通式(1)或(2)表示。(式(1)中，R1～R4各自独立地表示氢原子、碳数1～5的烷基等，R5和R6各自独立地表示氢原子或碳数1～5的烷基，M1表示镓原子或铟原子。)(式(2)中，R7～R10各自独立地表示氢原子、碳数1～5的烷基等，R11表示氢原子或碳数1～5的烷基，M2表示镓原子或铟原子。)

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114787168 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202080082238.7 (74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所