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本发明公开一种内连线结构,形成在半导体元件中。内连线结构包括介电层设置在基板上方。所述介电层包含一区域及多个凸出结构。所述多个凸出结构分布在所述区域内。金属层设置在所述介电层上。所述多个凸出结构的顶部相对所述金属层是暴露。跨过所述区域的中间部分的任一个直线路径都会相交于所述多个凸出结构的一部分。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114765146 A
(43)申请公布日 2022.07.19
(21)申请号 202110047135.3
(22)申请日 2021.01.14
(71)申请人 联华电子股份有限公司
地址 中国台
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