基于硅基Micro LED的触觉传感器阵列及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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基于硅基Micro LED的触觉传感器阵列及其制备方法.pdf

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本发明提供一种基于硅基MicroLED的触觉传感器阵列及其制备方法，其中触觉传感器阵列包括呈规则分布的触觉传感器件单元，触觉传感器件单元用于实现触觉传感功能，其分布密度决定了触觉传感器的分辨率。本发明采用硅基外延片，使得光的直接耦合减少，有利于降低传感器的本底噪声；利用MEMS工艺技术，最终得到的器件体积小、重量轻，并且可以通过批量化生产降低生产成本，有利于本发明的应用与推广；基于光电式检测原理，本发明的触觉传感器阵列具有分辨率和灵敏度高、响应速度快以及抗电磁干扰能力强的优势；本发明的触觉传感器

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114759021 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210420527.4 (22)申请日 2022.04.20 (71)申请人无锡麟聚半导体科技