防止粉末沾粘的粉末原子层沉积装置.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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防止粉末沾粘的粉末原子层沉积装置.pdf

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本发明提供一种防止粉末沾粘的粉末原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元通过轴封装置连接并驱动真空腔体转动。一抽气管线及至少一进气管线设置在轴封装置内，并将一过滤单元设置在轴封装置连接真空腔体的反应空间的一端。抽气管线经由过滤单元抽出反应空间内的气体，而进气管线则经由过滤单元将前驱物气体或非反应气体输送至反应空间。进气管线输送非反应气体的状态包括一搅动状态及一防止沾粘状态，其中防止沾粘状态时进气管线输出的非反应气体的流量小于搅拌状态，并可避免粉末沾粘在过滤单元上。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114752919 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202110037081.2 (22)申请日 2021.01.12 (71)申请人鑫天虹(厦门)科技有限公司地址