单晶金刚石表面缺陷自动识别与修复方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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单晶金刚石表面缺陷自动识别与修复方法.pdf

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单晶金刚石表面缺陷自动识别与修复方法，本发明的目的是为了解决现有MPCVD法进行单晶金刚石制备过程中，由于工艺不合理导致金刚石表面产生宏观缺陷，从而影响其性能、增加产品成本等问题。自动识别与修复方法：一、对含缺陷的单晶金刚石图像进行扩展；二、基于卷积神经网络对单晶金刚石图像进行训练；三、将含有缺陷的单晶金刚石样品水平放置在平台上，通过检测相机采集单晶金刚石样品图像，利用训练后的卷积神经网络模型识别出单晶金刚石缺陷；四、通过激光器切割去除单晶金刚石缺陷；五、切割缺陷后的单晶金刚石横向生长。本发明基

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114757940 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210550413.1 G06V 10/764 (2022.01)