待测物的聚焦方法及聚焦系统、设备和存储介质.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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待测物的聚焦方法及聚焦系统、设备和存储介质.pdf

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一种待测物的聚焦方法及聚焦系统、设备和存储介质，聚焦方法包括：获取待测物在不同聚焦高度下的标定图像；根据标定图像获取每层标定图形的第一聚焦度参数与聚焦高度的分布关系，分布关系为高斯分布；分别对多层标定图形的分布关系求对数后进行加权处理，获取与聚焦高度呈线性关系的标定曲线；获取最佳聚焦高度参考值；拍摄获取待测物的待测图像；根据待测图像获取每层标定图形的第二聚焦度参数；将待测图像中每层标定图形的第二聚焦度参数分别求对数后进行加权处理，获取测试差值；利用标定曲线确定测试差值所对应的实际高度，并计算最佳

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114764180 A (43)申请公布日 2022.07.19 (21)申请号 202011636597.0 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司地址